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경상국립대, '반도체 공동연구소 USG 클린룸' 준공

인적·물적 인프라 겸비한 경남지역 반도체 연구의 선도 교육기관으로 조성

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cnbnews 심지윤기자 |  2023.04.25 17:12:01

경상국립대학교 공과대학과 울산·경남지역혁신플랫폼 대학교육혁신본부는 '반도체 공동연구소 USG 클린룸' 준공식을 25일 가좌캠퍼스 공학4호관 대강의실에서 진행했다. (사진=경상국립대 제공)

경상국립대학교 공과대학과 울산·경남지역혁신플랫폼(USG공유대학) 대학교육혁신본부는 '반도체 공동연구소 USG 클린룸'(이하 USG 클린룸) 준공식을 25일 오후 2시 30분 가좌캠퍼스 공학4호관 대강의실에서 개최했다.

클린룸은 미세한 먼지를 비롯해 기온·습도·기류·기압 등 반도체 품질에 영향을 줄 수 있는 요소가 일정 규격에 맞게 관리되는 공간이다. 이번에 신설한 USG 클린룸은 연면적 280㎡, 지상 1층 규모로 구축됐다. 기자재로는 노광장비, 증착장비, 산화장비, 열처리장비 등을 설치했고, 향후 건식식각장비, 확산장비 등을 설치할 예정이다.

USG 클린룸은 반도체 소자 및 공정개발, 설비기술 개발, 신소재 연구, 교육 등의 공간을 조성하기 위한 인프라를 구축했다. 이 시설은 반도체 전문인력을 양성하기 위해 USG공유대학에 참여하는 도내 교육기관의 '공동연구소'의 형태로 운영할 계획이다.

준공식에는 권순기 경상국립대 총장과 지역 국회의원, 경남도, 진주시, 사천시, 울산·경남지역혁신플랫폼, 대학, 고교, 산업체 인사 등 100여 명이 참석했다.

권순기 총장은 "전세계적으로 반도체 전문인력의 중요성이 급부상함에 따라 미래형 반도체 기술 개발 및 교육을 위한 환경을 조성하기 위해 마련되는 USG 클린룸은 경남지역 반도체 전문인력 양성의 거점으로 기업 유치 및 일자리 창출에 기여할 것"이라고 밝혔다.

경상국립대와 USG공유대학은 이번 USG 클린룸 준공으로 인적·물적 인프라를 겸비한 경남지역 반도체 연구의 선도 교육기관으로 거듭나게 됐다.

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