반도체 노광장비 UV 렌즈용 불화칼슘 단결정 공급계약을 체결한 관계자들이 기념촬영을 하고 있다.(사진=경상국립대 제공)

경상국립대학교 경남진주강소특구지원센터는 특구 내 연구소기업 케이엑스티(KXT)가 지난 26일 일본의 후쿠다결정연구소(FXL)와 ‘반도체 노광장비 UV 렌즈용 불화칼슘 단결정 공급계약’을 체결했다고 밝혔다. 

세계적으로 불화칼슘 단결정 시장은 연평균 8% 이상 성장해 오는 2030년까지 19억 달러 규모에 이를 것으로 전망되는 반도체 장비 산업의 핵심 분야다. 하지만 우리나라는 전량 해외 수입에 의존하고 있어 국제정세·자원무기화 등으로 인한 수출 통제 조치가 발표될 때마다 심각한 피해를 입을 수밖에 없었다.

이러한 문제를 인식한 케이엑스티는 불화칼슘 단결정 원천기술 국산화를 결심하고 지난 2020년 연구소기업을 설립해 과학기술정보통신부 연구개발특구육성사업을 통해 “국내 최초로 세계 최고 수준의 광학 특성을 갖는 고품질 불화칼슘 단결정 국산화에 성공했다”고 설명했다.

케이엑스티는 원천기술 확보에 만족하지 않고 세계 최고 수준의 기술력을 확보하기 위해 경상국립대·한국표준과학연구원 등과 지속적인 산학연 공동연구를 추진하며 기술고도화와 품질향상에 주력할 예정이다.

불화칼슘 단결정 융합기술은 고순도 불화칼슘 원료 분말부터 고품질 단결정 성장까지 체계적 융합이 가능한 기술로 내부 투과도가 99.7% 이상의 고품질 단결정 제조가 가능해 굴절률·균질도와 응력 복굴절 등의 광학 특성이 향상된 반도체용 렌즈 소재로 활용될 예정이다.

현재까지 우리나라는 국내 기술을 통해 UV 렌즈를 개발한 이력이 전무한 실정으로 반도체 소재·부품·장비(소부장)의 수입 의존도 저감과 국내 공급망 안정화에도 크게 기여할 것으로 기대된다.

경남진주강소특구지원센터는 특구 내 기업을 대상으로 진행한 연구개발, 판로개척 등 사업화지원이 결실을 맺고 있다고 밝히고 지속적인 사업성과 창출과 지역경제 활성화에 기여할 수 있도록 앞으로도 지원과 협력을 계속할 예정이다.